技術(shù)文章
由 INFICON 設(shè)計(jì)制造的 LINXON myRGA 四極質(zhì)譜分析儀,是面向普通真空與科研市場(chǎng)的高性?xún)r(jià)比殘余氣體分析設(shè)備,兼具高性能、易操作、低維護(hù)等多重特點(diǎn),在檢漏、工藝氣體監(jiān)控等場(chǎng)景中表現(xiàn)亮眼,成為真空鍍膜、熱處理等領(lǐng)域的優(yōu)選分析儀器。
高性?xún)r(jià)比兼具精準(zhǔn)性能是該設(shè)備的核心特點(diǎn)。作為主打高性?xún)r(jià)比的 RGA 產(chǎn)品,其以親民價(jià)格擁有極小的可檢測(cè)分壓強(qiáng),EM 款可達(dá) 1.5E-14mbar,搭配<1amu 的高分辨率與 3 毫秒的快速數(shù)據(jù)收集速率,能精準(zhǔn)捕捉低含量氣體濃度與微小壓強(qiáng)變化。設(shè)備提供 100/200amu 兩種質(zhì)量數(shù)范圍可選,標(biāo)配法拉第杯檢測(cè)器,也可選配電子倍增器,后者靈敏度更高,可滿(mǎn)足不同精度的氣體分析、污染檢測(cè)需求,溫度系數(shù)<1%/℃,在復(fù)雜工況下仍能保持檢測(cè)數(shù)據(jù)穩(wěn)定。
模塊化設(shè)計(jì)讓維護(hù)與適配更便捷,大幅降低使用成本。傳感器采用創(chuàng)新雙燈絲設(shè)計(jì),集成涂敷氧化釔的銥燈絲與鎢燈絲,可根據(jù)工況靈活選擇 —— 銥燈絲適配含氧過(guò)程,鎢燈絲適配含鹵素過(guò)程,有效延長(zhǎng)燈絲壽命,備用燈絲還能保障設(shè)備最大上線(xiàn)時(shí)間。燈絲套件、離子源組件及電子倍增器均可現(xiàn)場(chǎng)快速更換,無(wú)需專(zhuān)業(yè)操作,更換燈絲套件即可替代傳統(tǒng) RGA 的整個(gè)離子源,大幅節(jié)約維護(hù)成本。同時(shí)傳感器可并行測(cè)量總壓強(qiáng),實(shí)現(xiàn)燈絲過(guò)壓保護(hù),進(jìn)一步提升設(shè)備使用安全性。
操作與集成簡(jiǎn)單化,適配多場(chǎng)景使用需求。設(shè)備搭載機(jī)載網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器,無(wú)需安裝軟件,通過(guò)網(wǎng)頁(yè)瀏覽器即可操作,支持 PC、平板、智能手機(jī)多終端訪(fǎng)問(wèn),界面會(huì)動(dòng)態(tài)適配屏幕尺寸,操作門(mén)檻極低;隨機(jī)附贈(zèng) LabVIEW 軟件開(kāi)發(fā)套件,可根據(jù)需求定制操作軟件,搭配 TCP/IP 以太網(wǎng)連接,輕松實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)集成。設(shè)備還支持監(jiān)視器掃描、調(diào)諧、診斷等多模式切換,內(nèi)置檢漏功能,能快速定位真空系統(tǒng)泄漏問(wèn)題,滿(mǎn)足多樣化的檢測(cè)需求。
此外,設(shè)備具備出色的環(huán)境適應(yīng)性,最大烘烤溫度達(dá) 300℃,FC 款傳感器可在 200℃下工作,EM 款為 150℃,能適配真空鍍膜、低壓熱處理等高溫工業(yè)工況,且整機(jī)符合 RoHS 認(rèn)證,傳感器與電子學(xué)設(shè)備可互換,進(jìn)一步提升了設(shè)備的適配性與復(fù)用性。依托 INFICON 的專(zhuān)業(yè)制造工藝,該設(shè)備還擁有高平均故障間隔時(shí)間,低總體擁有成本的優(yōu)勢(shì)讓其成為真空氣體分析領(lǐng)域的高價(jià)值之選。
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