Brooks Sho?Rate™ 玻璃管轉(zhuǎn)子流量計(jì)（變面積 VA 流量計(jì)）

品牌：Brooks Instrument（布魯克斯），半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、工藝設(shè)備小流量目視流量計(jì)，常用于工藝氣體吹掃、載氣、液體小流量觀測(cè)。

主要型號(hào)家族

1. 1250A / 1255A：經(jīng)濟(jì)型 OEM 款，面板安裝

• 1250A：精度 ±5% FS；1255A：±3% FS

2. 1350G / 1355G：工業(yè)主流，半導(dǎo)體設(shè)備最常見(jiàn)

• 1350G：±5%FS；1355G：±3%FS，重復(fù)性 0.25% FS

3. 1358(F)：大流量版本，精度 ±10% FSBrooks Ins...

核心技術(shù)參數(shù)Brooks Ins...

• 原理：玻璃管浮子（轉(zhuǎn)子）變面積流量計(jì)，僅本地目視讀數(shù)，無(wú)電信號(hào)輸出

• 介質(zhì)：氣體、液體

• 殼體：硼硅玻璃測(cè)量管；端座：鋁 / 黃銅 / 316SS；密封：Buna?N、Viton、Kalrez

• 浮子：316SS、藍(lán)寶石、玻璃、鉭等可選

• 耐壓：200 psig（13.8?bar）

• 溫度：1?~?121?℃

• 量程比：10:1

• 接口：1/8"、1/4" NPT；卡套；VCR；面板鎖螺母安裝

• 選項(xiàng)：內(nèi)置針閥（M 旋鈕）、高低流量報(bào)警開(kāi)關(guān)、可互換測(cè)量管組件 EZ?CHANGE™

注意：刻度是標(biāo)定工況（空氣 / 水，1.01bar，21℃），其它氣體 / 壓力必須做流量換算，不能直接讀刻度值BKW Instru...。

半導(dǎo)體設(shè)備常見(jiàn)用法

1. 腔體吹掃、惰性氣體旁路、起泡器鼓泡流量指示；

2. 配合 MFC 做旁路參考顯示；

3. 只做觀察指示，不能閉環(huán)自動(dòng)控制。

常見(jiàn)故障

1. 浮子卡滯：顆粒污染、壓差沖擊，需要清洗 / 更換測(cè)量管組件；

2. 泄漏：O?ring 老化（Viton/Kalrez 優(yōu)先半導(dǎo)體工況）；

3. 讀數(shù)不準(zhǔn)：實(shí)際壓力溫度偏離標(biāo)定條件，不是流量計(jì)損壞；

4. 玻璃炸裂：嚴(yán)禁超壓、熱沖擊。