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INFICON 濺射傳感器專為各種濺射過程而設計。鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管在濺射環境中可實現冷卻效果。傳感器頭內置的磁鐵可抑制因外部磁場偏轉濺射系統中的高能自由電子而引起的過熱。后裝式晶體支架設計便于更換晶體,更換時無需從系統中拆卸傳感器頭。
炫酷抽屜雙傳感器設計用于在真空室中需要第二晶體的關鍵過程。擁有水冷澆鑄不銹鋼傳感器殼體、兩個炫酷抽屜晶體支架以及一個氣動閘門,可以為堅固耐用的傳感器頭提供超高的備份晶體可靠性。腔室中沒有同軸電纜,可以進行更純凈、更可靠的真空系統安裝。
INFICON 前裝式單晶體傳感器擁有經實踐檢驗的可靠性和耐用性,提供超越當前市場上的任何傳感器頭的熱穩定性。前裝式設計允許在側面插入空間不足的應用中輕松插入晶體支架。經機械裝配而成,
INFICON 前裝式雙晶體傳感器擁有經實踐檢驗的可靠性和耐用性,提供超越當前市場上的任何傳感器頭的熱穩定性。雙傳感器可提供備用晶體,這對于真空腔室中需要有第二個晶體的關鍵過程至關重要。
CrystalSix 傳感器在一個傳感器頭中含有 6 顆石英監控器晶體,為 OLED、MBE、太陽能、長時間光學鍍膜或其他需要長時間腔室排氣的過程提供安全性。與 INFICON 薄膜沉積監控器結合使用時,CrystalSix 在當前晶體失效或不穩定的情況下,會自動將新的晶體轉動到適當的位置。晶體更換是自動完成的,不會中斷您的過程,支持持續監控沉積速率。
炫酷抽屜單傳感器允許晶體從側面安裝到傳感器中,為沒有足夠的空間從前面安裝晶體的系統提供了便利。炫酷抽屜單傳感器采用炫酷抽屜晶體支架,該晶體支架通過水冷式外殼進行熱屏蔽,可確保晶體性能。
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